【厂商（型号）】SCS（PDS 2010）

【关键参数】蒸发室：容量>100g，温度上限180℃；裂解室：温度上限720℃；沉积室：可容纳8英寸基片；冷阱：制冷温度-90℃；系统极限真空：3×10⁻³ Torr。

【应用领域】通过将粉末原料高温裂解为单体，在常温腔体内重新聚合，从而在物体表面形成均匀的聚合物薄膜，广泛应用于生物传感器与微流控芯片的修饰。

【收费标准】平台内90元/小时；校内180元/小时；校外360元/小时。

【放置地点】创新港20号楼5034室

【设备管理员】张老师

【联系电话】15349187289