【厂商（型号）】Bruker（DEKTAK XTL)

【关键参数】高度重复性≤ 0.5 nm（基于1 μm台阶）；垂直扫描范围 ≤ 1000 μm；探针压力范围 0.03–15 mg（可精确控制，适应软质样品）。

【应用领域】可用于薄膜厚度测量和材料表面沟槽以及材料形貌表征，还可通过仪器控制软件表征分析材料表面应力、粗糙度、波纹度等信息。

【收费标准】平台内45元/小时；校内90元/小时；校外180元/小时。

【放置地点】创新港20号楼5034室

【设备管理员】张老师

【联系电话】15349187289