【厂商（型号）】KLOE（UV-KUB3）

【关键参数】中心波长365 nm；强度≥30 mW/cm²（可调）；曝光面积152×152 mm²；曝光分辨率≤1µm；最大曝光深度 500 µm，对准精度：≤±1 µm。

【应用领域】可用于微流控芯片制备，将芯片设计图案精确转移到基片上，形成所需的微通道等微纳结构。

【收费标准】平台内200元/小时；校内500元/小时；校外800元/小时。

【放置地点】创新港20号楼5034室

【设备管理员】张老师

【联系电话】15349187289