1.曝光对准类型：半自动单面对准曝光

2.曝光面积：152×152mm2

3.曝光照度不均匀性：+/-10%；

4.曝光强度：≥30mW/cm2可调

5．紫外光束角：≤2˚

6．紫外光中心波长：365nm

7．LED光源寿命：≥1万小时

8．曝光分辨率：≤1μm（正胶）；

9．一次性最大曝光深度：500μm；

10.单次曝光可实现深宽比最大：10:1;

11.曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光；

12.对准精度：≤±1μm；

13.分离量：0～1000μm可调

14.曝光方式：硬接触、软接触、接近式曝光

15.找平方式：无需找平