赵立波教授团队研究成果突破了CMUTs高收发性能结构设计及大悬空/键合面积比下低温（≤350℃）晶圆直接键合工艺，研制出线阵、面阵等多种形式阵列芯片，带宽、发射和接收灵敏度等核心指标处于国际领先水平。

系列高性能CMUTs芯片已在航空航天、医学成像等领域开展了应用验证，解决了航天液压系统内流量/杂质集成检测、火箭推进剂预包装原位气泡监测等难题，并实现产业化销售，填补了自主研制CMUTs产品空白，打破国外技术垄断。

智能传感与医疗监测系统研究团队