赵立波教授团队研究成果突破了PMUT阵列结构设计以及MEMS工艺兼容高性能压电薄膜低温制备技术瓶颈，制备了六边形、十六臂圆、线性相控阵及阿基米德螺线等多种阵列芯片，大幅提升了超声换能器灵敏度和带宽。

系列高性能PMUT芯片已在医疗、航空航天、电网等领域进行了应用验证，解决了血管流量/血压监测、大型掘进机主轴承游隙测量、航空航天装备管道气泡/流量等非侵入原位测量难题，具有重要的应用价值。

智能传感与医疗监测系统研究团队