激光刻蚀系统，具备直接在金属、陶瓷、玻璃和有机材料上高精度刻蚀、裁切等功能，主要用于构建生物芯片、微流控微纳通道、柔性传感器以及精密裁切生物组织，实现基于微流控芯片的肿瘤精准诊断应用研究等。

系统主要用于再生医学、组织工程、药物开发和材料科学等多个生物医学领域，实现电极制备、微纳材料加工、微纳通道制作等功能，以及针对很薄的生物组织和金属、陶瓷材料进行精密刻蚀和钻孔等

1、多波长激光直写平台，含红光光路指示、光路传输模块、功率控制模块、偏振控制模块、聚焦光学模块、气流控制模块、增强Z轴模块等；

2、可加工尺寸：＞200*200mm；

3、可接受基材厚度范围优于：0.1-10mm，负载:＞10kg；

4、可加工材料：亚克力、玻璃、水凝胶、PDMS、硅片等；

5、加工精度:≤5μm；

6、最高加工速度：≥500 mm/s；

7、可调谐激光源，脉宽调节范围：≤300fs-10ps；

8、输出功率：≥20W，0~100%可调；

9、重复频率范围优于：25kHz-2MHz；

10、最大单脉冲能量：≥20μJ

11、光束质量：M2≤1.3，功率稳定性：≤2%RMS；