电子束蒸发镀膜是一种基于电子束热源的表面涂层技术，通过控制材料的升华和沉积过程将蒸发的材料沉积到基底表面形成高纯度、高密度的薄膜。在半导体和微电子器件制造领域，能够用于制备导电薄膜层、绝缘隔离层和表面防腐层；在光学器件制造领域，可用于制备调节光学器件的反射、透射性能，制造高精度光栅结构、高性能光学器件；在生物医学领域，可应用于医疗器械的功能性改性和生物相容性涂层制备，用于生物医学传感电子器件制备等。责任教授的设备预计使用机时1600小时/年。校内潜在用户：机械、材料、化学、生物、一附院、二附院、自动化、电气等学科（以科研为主）；校外潜在用户：半导体制造公司、光学器件研发企业、新能源材料公司、显示面板制造商、科研机构与高校实验室等（以技术研发与工艺优化为主）；如与中芯国际共建先进镀膜联合实验室，共同开发高精度电子束蒸发工艺。以上用户均有大量使用需求，预计每年开机使用机时1000小时以上。