设备开展业务及运行安排：

激光直写光刻机主要用于微流控生物芯片制作，用于微小流道的低粗糙度轮廓结构加工、微电极的加工或者MEMS器件的加工、以及光刻掩膜版的加工等项目，各项目研究中均需要利用该设备将电路图绘制到感光半导体材料上，主要是微米尺度的图形化工艺及掩膜板制备工艺应用，以及在衬底上进行激光直接光刻工艺，满足高精度和高灵敏度的光学图形转移需求。预计每年开机使用机时800小时以上。