【厂商（型号）】KLOE（Dilase 250）

【关键参数】光源：375 nm，功率≥70 mW；线宽分辨率：≤1 μm；加工区域：100 ×100 mm²；套刻精度：≤2 μm；最大深宽比：30:1。

【应用领域】激光直写光刻机主要用于微流控生物芯片的微流道低粗糙度加工，同时也支持微电极制作、MEMS器件制备及光刻掩膜版制作，适用于对图形精度与表面质量要求较高的微结构加工。

【收费标准】平台内210元/小时；校内420元/小时；校外840元/小时。

【放置地点】创新港20号楼5034室

【设备管理员】张老师

【联系电话】15349187289